利减少由于内应力拉伸使得基座本体表面出现破裂的可能K8凯发天生赢家北京凯芯新材料科技取得一种基座专

　　专利摘要显示▼◇•★=◁，本申请涉及半导体制作的技术领域K8凯发天生赢家•▪▪=☆利减少由于内应力拉伸使得基座本体表面出现破裂的可，提供了一种基座=○★•★，其包括基座本体◁☆，所述基座本体的上表面绕自身轴线开设有环形凹槽==，所述基座本体的上表面开设有连通于环形凹槽的定位卡槽□▷▼▷◇-。本申请通过设置的环形凹槽●●…◇，对通过保温桶热传导到基座本体上的热量所引起的内应力▼=，在环形凹槽内进行释放K8凯发天生赢家•▷=，减少由于内应力拉伸◁☆-△◆，以使得基座本体靠近于保温桶的表面出现破裂的可能▪○□=，以延长该基座本体的使用寿命▲■•☆★；以及通过设置的定位卡槽▪•■★▽，以使得保温桶和基座同轴转动-=■，进而以对放置在保温桶上的多个半导体衬底同轴转动的有益效果▽▲◇◇▼★。

　　金融界2024年11月23日消息-▪■▽•◆，授权公告号 CN 222029053 U☆○◁-▲能K8凯发天生赢家北京凯芯新材料科技取得一种基座专，国家知识产权局信息显示■○，申请日期为2024年3月▽…◇■=。北京凯芯新材料科技有限公司取得一项名为▲▼●•=“一种基座■▲”的专利◆○，